到貨！京都玉崎深圳倉庫到貨日本EBARA荏原真空泵EV-A10-2S

一、型號含義
EV?A10：系列名，A10 = 公稱抽速 1000 L/min
?2S：單相 200–240V / 50/60Hz版本（另有三相?3S）
二、核心參數(shù)（2026 原裝規(guī)格）
抽速：1000 L/min（50Hz）；大氣壓下約 800 L/min
極限壓力：
氣鎮(zhèn)關：≤1 Pa
氣鎮(zhèn)開：2–3 Pa
水蒸氣處理：500 g/h（氣鎮(zhèn)開）
電源：單相 200–240V，50/60Hz，3.0 kVA
功耗：極限真空約1.1 kW
接口：進氣 NW40（KF40），排氣 NW25（KF25）
尺寸 / 重量：約 560×320×450 mm，72–75 kg，帶腳輪
冷卻：空冷（無需冷卻水）
噪音：約 52 dB (A)，潔凈室友好
三、結構與特點
干式無油：羅茨 + 爪式復合轉子，腔體wan全無油，無油霧污染、無返油。
空冷免水：不用冷卻水，即插即用（plug & pump），安裝簡單。
耐腐蝕：轉子涂層 + 特種密封，可處理少量水汽與弱腐蝕氣體。
節(jié)能智能：DC 電機 + 怠速 / 休眠控制，低負載省電。
**合規(guī)：CE、SEMI?S2、UL 認證株式會社荏原製作所。
四、典型用途
半導體：Load Lock、真空傳送、等離子清洗
鋰電：注液前干燥、真空封裝
真空鍍膜：PVD、濺射、蒸鍍前級泵
分析儀器：質譜、電鏡、檢漏系統(tǒng)
科研 / 工業(yè)：凍干、脫泡、小型真空爐